一、改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器（论文文献综述）
孙传芳[1]（2021）在《分瞳移焦型外差共焦显微成像方法研究》文中指出随着微纳米加工技术、纳米超材料的发展以及超精密结构的日益复杂,对于微小空间结构三维尺度测量的需求日益迫切。共焦显微技术具有独特的三维层析能力、高分辨力、对被测样品无特殊要求、非接触测量不会损伤样品表面等优点,可广泛应用于微结构三维形貌测量方面。目前外差共焦仍然是提升共焦显微系统轴向分辨力的主要手段之一,但是由于该系统采用硬针孔结合光电探测器的方式存在针孔离焦位置调节困难、容易堵塞等诸多问题,致使系统测量性能难以达到最优,同时缺乏收集光倾斜下系统的三维相干成像模型。为了解决上述问题,进一步提高系统的测量性能,建立准确的系统模型,本课题“分瞳移焦型外差共焦显微成像方法研究”主要完成的工作内容如下:（1）建立“分瞳移焦型外差共焦”的三维相干成像模型。针对共焦显微系统采用硬针孔探测存在的各种问题,提出一种“分瞳移焦”的探测臂光路结构,采用CCD相机软针孔进行探测,同时简化探测臂光路。建立收集光倾斜下的三维相干成像模型,由于在共焦系统的探测臂中加入光栅,致使分光后的收集光倾斜入射成像透镜,对探测面上衍射光场分布进行分析。本文基于无限距共焦显微成像理论,建立了系统整体的三维相干传递函数模型,讨论光束倾斜对系统响应的影响。（2）开展了对称移焦相位光瞳滤波器的设计。基于相位型光瞳滤波器的调制特性,建立了倾斜照明下的光瞳优化模型,并利用遗传算法对光瞳结构进行优化设计,仿真结果表明,所设计的共轭相位光瞳滤波器,可使两路探测光在成像透镜焦面处分别产生最优的正负离焦量,同时径向分辨力提升6%,通过外差处理使系统轴向分辨力提升74%,可有效扩大系统的测量范围。（3）由于系统中采用空间光调制器（SLM）实现数字光瞳,针对SLM的位姿会影响光瞳调制作用的问题,本论文分析了光瞳相位图平移及旋转对调制作用的影响,仿真结果表明,光瞳偏移量在小于38μm时仍然可以保证系统的分辨力。为保证相位图加载准确性,提出了一种基于菲涅尔波带片的SLM相位图对准的方法,通过平行光束光斑中心与菲涅尔波带片聚焦光束对准实现相位图位置确定。通过所提方法使光瞳相位图与光束对准,实验结果表明最终对准精度达到6.5μm,满足系统光路对准精度要求。（4）最后,搭建了实验平台,并对所设计的光瞳滤波器和系统的整体性能进行了相应实验。实验结果表明:由于光栅分光导致的光束倾斜入射探测透镜不会对共焦系统探测结果产生影响;本实验所设计的光瞳,可以实现轴向移焦,并且轴向超分辨因子GA=1.042,径向超分辨因子GT=1.052;最终搭建了分瞳移焦型外差共焦系统,结果表明在以平面镜作为被测样品,测量物镜NA=0.2的情况下,系统具有25μm的测量范围,相比于普通共焦系统测量范围提高了47%,线性区斜率提高了66%,采用软针孔探测时能够达到轴向30nm的分辨力,验证了本课题建立的收集光倾斜下的三维相干成像模型的准确性。上述结果表明,本论文所提方法能够简化探测臂光路,使系统更易于集成,解决了硬针孔存在的各种问题;同时通过共轭光瞳的调制,使外差共焦系统测量范围扩大的同时,进一步提高了系统的三维分辨力。
魏明[2]（2020）在《瞳函数调制的超分辨望远成像机理研究》文中研究表明本文以望远光学系统为背景,开展了望远光学系统光瞳调制超分辨技术的研究。具体为进行了0-π阶跃位相型滤波器的设计,并进行了望远光学系统中视场光阑对于光瞳及像面光场的影响分析,研究了它对光学系统超分辨效果的影响,并进行了补偿元件的设计。根据超分辨成像理论设计了二环带、三环带、四环带、五环带四种阶跃位相型光瞳滤波器,给出了具体参数和超分辨指标值。然后将这四种滤波器分别加入望远光学系统进行了仿真,并搭建实验,验证了四种滤波器的超分辨成像效果。研究发现四种滤波器中四环带滤波器超分辨倍率最高,为1.34倍。五环带超分辨倍率为1.31倍,旁瓣强度最低,不超过主瓣峰值的0.1倍。光瞳滤波器虽然可以提高超分辨倍率,但也会增加旁瓣强度,影响主瓣成像质量。以往处理方法为加入视场光阑进行局部视场成像,但视场光阑本身的衍射效应同样会对超分辨成像产生影响。本文以四环带滤波器望远超分辨成像系统为研究载体,研究了视场光阑对光瞳处和像面处光场PSF的影响,发现视场光阑对光瞳处光场以及像面处光场的影响十分显着,甚至会使超分辨望远光学系统失去超分辨效果,同时也会提高旁瓣强度。提出了一种修正滤波器表面面形的补偿方法,并进行了仿真分析和实验验证,证实该方法可以很好的补偿视场光阑对超分辨成像的影响。对于含有低旁瓣强度五环带滤波器的望远系统,对其进行多目标超分辨成像仿真,结果证实此种滤波器旁瓣影响较小,适用于多目标超分辨成像。对0-π阶跃位相型光瞳滤波器进行偏心、倾斜、位相和阶跃点公差分析后,发现本文所设计的望远光学系统中,滤波器的偏心、倾斜对于超分辨成像效果影响较小,而位相和阶跃点的公差灵敏度较高,产生的误差对超分辨成像效果影响较大,而且位相误差会引起聚焦点横向偏移。
郭雨晗[3]（2019）在《共焦显微系统中移焦探测方法研究》文中进行了进一步梳理随着现代微加工技术和光学超分辨技术的不断进步,微尺度空间三维测量与成像技术向着大量程、高精度和高效率三个大方向前进。空间三维测量主要包括像散法、激光三角法、扫描隧道显微镜、机械探针法、原子力显微镜以及共焦显微技术等。其中,共焦显微技术因具有三维层析能力、不损伤样品表面、可对活体细胞进行观察、测量范围较大等优点,被广泛应用于材料学、生物学、医学、MEMS等技术领域。为提高传统共焦系统的轴向分辨力并扩大测量范围,外差共焦原理被进一步提出,其中点探测器轴向对称移焦问题一直是该系统实现过程中的难点。本课题将光瞳滤波器技术与共焦显微系统相结合,通过对位相型光瞳滤波器进行结构设计使其具有移焦特性,从而得到一种可满足小型化要求的外差共焦系统;同时在进行光瞳设计时,将横向超分辨因子作为其评价参数之一,以保证系统在实现轴向移焦的同时具有横向超分辨效果。本课题“共焦显微系统中移焦探测方法研究”主要完成工作包括:（1）对共焦显微系统及光瞳滤波器相位调制特性进行了详细的理论分析,并针对软针孔等效硬针孔的前提条件进行分析,得出结论在满足成像透镜rf3ril0/f2的前提下,系统为理想点探测时,由软针孔结构引入的成像系统点扩展函数hf将不会对共焦系统光强探测结果造成影响。（2）对光瞳优化效果评价参数的共焦系统测量影响情况进行了分析,给出了光瞳优化的约束条件,建立了光瞳优化模型,并利用遗传算法对位相型光瞳滤波器进行了结构优化设计,使其具有轴向移焦特性以及横向超分辨特性。（3）本课题利用空间光调制器模拟位相型光瞳滤波器在系统中的调制作用,为保证模拟效果,提出了一种基于菲涅耳透镜的空间光调制器相位图对准方法,以及一种基于杨氏干涉的空间光调制器相位调制特性测定方法。最后搭建了相关实验平台,对本课题所提出方法以及系统测量效果进行实验验证。实验结果表明:所提出的空间光调制器相位图对准方法可行,对准精度2.25μm,可满足课题要求;空间光调制器0-255灰度值的对应相位调制区间为0-1.5π,线性度为0.067;以平面镜为被测样品,测量物镜NA1为0.4,收集物镜NA2为0.25时,光瞳移焦量为5μm,外差共焦系统测量范围为±15μm,轴向分辨力为8nm,横向超分辨因子GT为1.23。
胡杰[4]（2019）在《基于光瞳滤波器的荧光辐射差分显微镜成像的研究》文中研究说明本论文重点研究了荧光辐射差分显微术（fluorescence emission difference microscopy,FED）的相关理论,这种超分辨显微术是在共聚焦显微术的基础上,利用实心光斑和空心光斑扫描得到的两幅不同调制的共聚焦图像进行差分,实现超分辨成像。我们提出使用简单的环形光瞳滤波器提高荧光辐射差分成像显微术的成像分辨率。在空心焦斑光路上使用合适的环形光瞳滤波器,压缩空心焦斑的尺寸。同时,在实心焦斑的光路上允许使用更高数值孔径的孔径光阑,获得更小的实心光斑分布与之相匹配。两方面作用下,提高了荧光辐射差分显微术的空间分辨率,将分辨率提高到超越衍射极限的0.18λ（λ是激发波长）,成像分辨能力提高了14.3%。由于方位角偏振（azimuthal polarization）光束能产生更小的空心焦斑,本文将其应用于FED中,并采用了一种三区振幅型光瞳滤波器,即漏光型光瞳滤波器,进一步缩小方位角偏振环形光的空心光斑的空洞尺寸。通过设计合适的滤波器参数,将FED分辨率进一步提高到0.17λ,相较于不加光瞳时的方位角偏振的荧光辐射差分显微术,分辨能力提高了8.6%。研究表明,使用合适的光瞳滤波器能够改善FED的成像分辨率,能为FED的实际应用提供一定的指导。荧光差分显微成像技术是基于激光扫描共聚焦成像平台发展起来的一种超分辨成像技术。本论文对共聚焦激光扫描显微系统的研制开展了实验研究,利用点照明和探测针孔共轭的方式,极大的消除了离焦平面的杂散信号,通过层析扫描的方式实现了三维显微成像。共聚焦显微术因其能对活细胞进行高分辨的三维成像特点,被广泛的应用于生物医学等领域。本课题调研了共聚焦显微术的基本原理和发展现状,搭建了激发光路、探测光路、扫描探测光路等模块,构建了一套完整的激光扫描共聚焦成像系统。利用自主编写的控制软件成功的进行了多种样品的二维成像实验,以及三维层析成像,横向成像分辨率可以达到448nm左右。
赵丽娜[5]（2018）在《自适应光学瞳面滤波超分辨成像技术及其对视功能的影响研究》文中研究表明成像技术的发展是推动科技进步的重要驱动力,对外界能够进行高分辨率或超分辨率成像有助于人类更深入地了解外部世界。光学成像分辨力客观上受到衍射极限的物理限制,如何突破衍射极限实现超分辨成像,是众多学科领域亟待解决的一个热点问题。光瞳滤波技术是超分辨成像技术中的核心分支。目前成熟的光瞳滤波器主要是应用二元光学加工工艺制作而成,也有研究者采用液晶空间光调制器作为光瞳滤波器实现超分辨效果,本文提出使用变形反射镜（变形镜）作为光瞳滤波器,实现超分辨效果。通过对比发现,变形镜能够克服已有光瞳滤波器的局限性,光能损失小,使用灵活,无波长和光偏振态限制。迄今为止,超分辨成像技术主要应用于生物显微镜、激光加工系统及光盘存储系统等众多领域,本文将超分辨技术思想创新性地应用在提升人眼视觉性能,探索突破人眼视功能极限的途径,具有实际应用意义。围绕本文的研究目的和研究方法,主要开展了如下几项核心工作。论文先后设计了两种形式的相位型光瞳滤波器函数:多项式型和Zernike多项式加权型。对得到的多项式光瞳滤波器函数分别用37单元和145单元的变形镜进行仿真拟合,仿真结果证明由于37单元变形镜驱动器单元数有限,导致分辨率过低,无法满足所设计的相位结构的精度要求;而145单元变形镜极间距小,空间分辨率高,可以较好地拟合设计的光瞳滤波器相位结构。Zernike多项式型光瞳滤波器的设计中,运用遗传算法寻找全局最优解,得到了符合设计要求的Zernike多项式光瞳滤波器。为了体现变形镜的可编程性和灵活性,以及对比不同特性光瞳滤波器函数的超分辨性能,本章选取两个Zernike多项式相位光瞳滤波器函数作为研究对象,一个光瞳滤波器（SR1）的超分辨因子（GT）较小,超分辨效果较为明显;另一个光瞳滤波器（SR2）的斯特列尔比（S）较大,光能损耗小。超分辨滤波器设计好后,依据不同阶段的实验目的,先后设计和搭建不同的自适应光学系统。各自适应光学系统的核心工作原理是将变形镜置于光学系统瞳面,通过程序控制变形镜产生所需的超分辨光瞳滤波器相位面形,由波前传感器实时测量出射波前,测量结果与设定的波前位相进行对比,根据对比结果调整变形镜面形,重复这一过程,直至变形镜面形达到设计要求,完成对超分辨位相结构的闭环拟合,实现超分辨效果。接下来进行超分辨效果测试。首先进行的是点扩散函数测试,得到衍射矫正和不同特性超分辨滤波器矫正下焦面处的光斑,对采集到的光斑做横向截面曲线,对比发现实验超分辨效果与理论计算基本相符,证明研究思路可行。然后重新搭建实验系统,对标准分辨率板（USAF1951）上第6组第2个元素进行超分辨效果测试,对CCD相机采集到的不同矫正条件下得到的图像进行处理,对比结果显示变形镜作为相位型光瞳滤波器,能够对图像产生超分辨效果,但由于主瓣的压缩,旁瓣的增强,导致超分辨成像对比度降低,图像清晰度不高。进一步,改进自适应超分辨光学系统,重新设计性能更好的Zernike超分辨函数,将本文提出的超分辨技术应用于人眼视功能影响测试。在两种不同超分辨光瞳滤波器调制下,先后对人眼点扩散函数（PSF）和对比敏感度函数（CSF）进行测试。实验结果证明人眼点扩散函数在不同光瞳滤波器的作用下会有不同变化,变化的规律符合预期超分辨效果。对比灵敏度函数测试结果及对实验结果的统计性分析表明,在光瞳滤波器（SR1）的矫正下,两名被试的对比灵敏度函数增益均有显着提升,而在另一个光瞳滤波器（SR2）的矫正下,人眼对比灵敏度函数并没有获得显着性增益。针对这一结果,论文进行了深入分析和讨论。本文研究了一种新的超分辨光瞳滤波器设计及实现方法,仿真和测试了不同情况下的超分辨效果,并测试了这种技术对于人眼视功能的影响,研究获得了初步成果,但在这一过程中也发现了有待思考和解决的许多问题,值得再做进一步深入的钻研。
马森[6]（2017）在《光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统研究》文中指出随着先进制造、航空航天、光学、生物医学、材料、微电子、微机电系统等领域的发展,出现了很多精密和超精密表面。这些精密和超精密表面在很大程度上决定了产品的使用性能,对这些表面进行高精度测量对产品的设计、制造及使用具有重要意义。各领域的发展需要对这些精密和超精密表面进行非接触、高精度、快速、在线测量。现有测量方法难以满足这些测量需求。针对这一现状,本论文提出并研究了光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统,可以对精密及超精密表面进行非接触、高精度、快速、在线测量。研究的测量系统包括光线扫描精密表面干涉测量系统、反馈稳定系统和超横向分辨率测量系统三个部分。首先,提出并研究了光线扫描精密表面干涉测量系统,将宽带光源发出的光色散成波长在垂直于光波传播方向连续分布的平行光片,将此光片聚焦成光线扫描被测表面,实现了对被测表面的非接触、高精度、快速测量。第二,为了使研制的干涉测量系统适合在线测量,研究了反馈稳定系统,对环境干扰对干涉测量系统的影响进行修正补偿,提高干涉测量系统的抗干扰能力,使之适合在线测量。第三,为了提高测量系统的横向分辨率,研究了一维振幅型光瞳滤波器,利用一维振幅型光瞳滤波器使测量系统的横向分辨率突破了光波的衍射极限,实现了超横向分辨率测量。最后,研究了光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统,实现了对精密表面的非接触、高精度、快速、超分辨、在线测量,满足各领域的发展对精密和超精密表面提出的测量要求。本论文的主要创新如下:1.提出了光线扫描精密表面三维干涉测量系统,只需一维扫描即可完成精密表面三维测量。与点扫描测量方式相比,光线扫描测量方式极大地提高了测量速度,扫描机构简单,简化了测量系统,降低了成本;测量系统结构的简化还减少了误差源,为高精度测量打下了坚实的基础。2.光线扫描被测表面时,入射到被测表面不同被测点的光波波长不同且固定不变,测量结果能准确溯源到波长基准。利用闪耀光栅对宽带光源发出的光进行色散,形成波长在垂直于光波传播方向连续分布的平行光片,此平行光片经聚焦后对被测表面进行线扫描测量,只要各光学元件的空间位置固定,被测表面不同被测点接收到的波长就固定不变,不受光源光谱漂移的影响,因此,测量结果能准确溯源到波长基准。3.设计了反馈稳定系统以补偿环境干扰的影响,实现对干涉仪的稳定,使测量系统适合在线测量。4.设计了一维振幅型光瞳滤波器,对聚焦后扫描光线的宽度进行压缩,使光线宽度方向的横向分辨率突破了光波衍射极限的限制,实现超横向分辨率测量。
向小燕[7]（2016）在《光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究》文中研究指明随着微电子、微机械、微光学等技术的发展,测量分辨力、范围、工作距等超精密测量指标在结构表面形貌高精度测量、凸台高度绝对微位移测量等几何量超精密测量领域有着更高的发展需求。同步移相干涉技术具有抗环境振动和高分辨力的特点,广泛应用在高精密测量领域,但是其测量范围与测量分辨力相互限制,很难兼容;差分共焦显微技术具有双极性与零点的特点,在三维扫描与成像领域有着广泛应用,但是易受环境振动影响,并且差分光学系统结构复杂,针孔探测位置装调困难,一定程度上影响了整体的测量精度、减小了测量同步性。为了克服外界环境振动影响,提高系统稳定性,研究一种小型化、大测量范围和高分辨力的高精度微位移绝对测量,本课题把同步移相干涉与差分共焦理论相结合,将位移变化转变成相位变化,利用差分共焦实现绝对位置的粗略测量,再利用同步移相干涉精确测量位移值。为了解决上述超精密位移测量中的问题,本课题“光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究”的主要完成的工作如下:（1）针对测量分辨力与测量范围矛盾的问题,将差分共焦理论融入到空间同步移相干涉理论中,建立光栅分光式、偏振片组移相的移相干涉差分共焦理论模型,理论分析四通道同步移相干涉原理、基于光瞳移焦的差分共焦原理以及同步移相干涉差分共焦位移测量特性。（2）为了提高系统抗环境振动的能力,设计正交位相型Ronchi光栅,实现共光轴;设计移相器和分瞳式相位光瞳滤波器,使得四束光同时共面探测,达到稳定测量的目的;利用参考面与测量面的显微物镜实现等倾照明,探测光强不再是干涉条纹,而是均匀的光斑,提高系统的同步性和稳定性。（3）为了扩大系统的测量工作距,结合差分共焦系统在整体装置中的作用,在满足移相干涉测量周期一半的条件下,适当减小差分共焦的分辨力,选取较小数值孔径的测量物镜,提高系统工作距。最后结合设计的分光光学元件与移相器、分瞳式光瞳滤波器搭建相关光学系统实验平台,对系统光路的工作特性、稳定性、重复性以及分辨力进行实验验证。实验结果表明:以平面镜作为被测面,利用正交相位Ronchi光栅分光的移相干涉位移测量装置对其分辨力与稳定性测试,在测量范围为100μm内能稳定分辨10nm的微小位移变化,并且该装置的测量工作距可以达到7mm。
刘江,苗二龙,王学亮,隋永新,杨怀江[8]（2015）在《利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨》文中提出为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统景深延拓了4.15倍,分辨率提升了1.3倍。同时,与其他两种形式的光瞳滤波器进行了比较,进一步说明了泽尼克位相型光瞳滤波器的优势。设计的泽尼克位相型光瞳滤波器在疵病的显微检测中具有一定的实际意义和应用价值。
查为懿[9]（2015）在《超分辨光学系统成像原理与技术》文中研究说明本文旨在探索一种大视场局部超分辨成像系统的设计理念与方法，该系统的成像特点使其能够广泛应用于侦查、救援等领域。达到该目标的主要难点在于：如何实现超分辨，以及如何将超分辨技术与现有的光学设计方法相结合。在对光学超分辨方法广泛调研的基础上，我们选用应用最为广泛的光瞳滤波技术作为实现大视场局部超分辨成像的主要技术途径，研究内容也主要针对光瞳滤波技术展开。本文的主要研究成果如下：（1）光瞳滤波器的结构设计和优化应用Toraldo理论，在Matlab中编写了超分辨光瞳滤波器的优化设计算法，从而设计得到最优的结构参数（包括各环带的半径及相位透过率）。应用该算法，我们成功地设计了二段式、三段式、四段式以及连续分布式的位相型光瞳滤波器。（2）光学系统及光瞳滤波器的整体超分辨效果仿真我们独立探索出一种应用通用光学设计软件ZEMAX对光瞳滤波器进行建模仿真的方法。通过在常规光学系统的光瞳处引入特殊面形GRID PHASE，可以近似模拟光瞳滤波器对基底光学系统的影响，并由系统点扩散函数获得超分辨的评价指标量值，实现了对带有光瞳滤波器的光学系统的整体分析和仿真。（3）超分辨光学系统的公差分析考虑到实际光瞳滤波器的加工或实验误差，创新性地应用动态数据交换技术在Matlab与ZEMAX间建立通信，对其可能产生的偏心、位置公差、位相公差进行了分析，并编写了相应的计算模拟程序。（4）超分辨实验样机搭建根据设计的超分辨光学系统，进行了合理的实验器件选型，完成光学元件加工、机械结构设计加工，最终在光学平台上实现了超分辨聚焦实验和分辨率板实验，有效验证了超分辨光瞳滤波的技术方法。（5）大视场局部超分辨的实现受到小凹成像的启发，我们创新性提出了机械扫描和光楔扫描实现大视场、局部超分辨成像的方案，克服了超分辨光瞳滤波器引起的旁瓣增强的技术缺陷。
侯斯靓[10]（2012）在《双折射光瞳滤波式差动共焦显微系统特性研究》文中认为在显微测量领域，对微观物体形貌及结构的准确检测逐渐成为现代科技的关注点之一。同时伴随着半导体技术、生命医学技术和量子技术的迅速发展，对超精密加工和微结构检测的需求越来越多，寻找一种能够简化系统的复杂结构，并且具有高效率、高分辨力特性的测量途径已经成为当前亟待解决的问题之一。本课题“双折射光瞳滤波式差动共焦显微系统特性研究”的研究目的是解决共焦显微测量的三维高分辨力的问题。在研究共焦显微测量原理和双折射滤波理论的基础上，将二者结合，并且将差动共焦引入到双折射光瞳滤波式共焦系统中，实现三维高分辨率光学测量，从而解决现代共焦显微技术发展中亟待解决的关键问题。研究成果可以推广应用于生物工程、微电子、超精密光学加工等领域实现高空间分辨力检测与成像。本课题的主要研究内容如下：首先开展双折射光瞳滤波方法研究，获得一种出射光的超分辨特性可以受到连续调制的滤波器，对该滤波器的横向分辨特性进行优化设计并制作双折射光瞳滤波器，该滤波器不仅具备可随自身参数改变轴向和横向分辨特性的特点，同时具有结构简单，制作过程中不涉及相位的改变，易于批量制造、成本低的优点，为提高共焦显微测量的分辨特性提供了一种可行的方法；其次，为寻求空间超分辨特性的共焦测量方法，将双折射光瞳滤波技术与差动共焦测量系统相结合，获得一种兼顾横向和轴向三维高分辨力特性的共焦显微测量原理；然后，研究双折射光瞳滤波式共焦显微传感技术与双折射光瞳滤波式差动共焦显微成像方法的特性，进一步在两种系统中优化滤波器参数，结果显示，优化的双折射光瞳滤波器与共焦显微传感技术相结合后使共焦系统的横向半高宽压缩了18%；最后，构建光瞳滤波式共焦显微系统实验装置，验证其理论特性，实验结果表明，在NA=0.65，λ=632.8nm条件下，该系统的轴向分辨力达到3nm，其横向线宽测量结果比标准光栅标定的宽度大0.077μm，相对误差为5.133%，与未放置滤波器的共焦系统相比，误差减小了0.107μm，相对误差减小了7.134%；同时构建三维超分辨差动共焦显微测量系统实验装置，对其理论特性进行实验验证和分析，实验结果显示，在NA=0.65，λ=632.8nm条件下，系统的轴向分辨力达到2nm，与标准光栅的标定宽度相比，其横向线宽测量结果比标准光栅标定的宽度小0.083μm，相对误差为6.100%，与未放置滤波器的共焦系统相比，误差减小了0.058μm，相对误差误差减小了1.933%。
二、改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器（论文提纲范文）
（1）分瞳移焦型外差共焦显微成像方法研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 |
| 1.2 国内外研究现状以及分析 |
| 1.3 本课题需要解决的问题 |
| 1.4 课题的主要研究内容 |
| 第2章 分瞳移焦型外差共焦显微系统 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 标量衍射理论基础 |
| 2.3 分瞳移焦型外差共焦显微系统原理 |
| 2.3.1 无限距外差共焦系统理论分析 |
| 2.3.2 分瞳移焦调制探测理论模型 |
| 2.3.3 理想平面镜轴向响应特性 |
| 2.4 光瞳滤波器调制原理 |
| 2.4.1 相位型光瞳滤波器的调制特性 |
| 2.4.2 相位型光瞳滤波器的共轭对称性 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 超分辨相位型移焦光瞳结构设计 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 分瞳移焦型外差共焦最优轴向移焦量分析 |
| 3.3 收集光倾斜下移焦光瞳优化设计 |
| 3.3.1 优化算法基本原理 |
| 3.3.2 光瞳滤波器优化评价指标 |
| 3.3.3 移焦光瞳优化 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 基于SLM的数字光瞳实现 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 空间光调制器安装误差分析 |
| 4.2.1 空间光调制器相位图加载倾斜误差分析 |
| 4.2.2 空间光调制器相位图加载平移误差分析 |
| 4.3 空间光调制器相位图中心对准方法 |
| 4.4 空间光调制器相位图中心对准实验验证 |
| 4.5 基于空间光调制器的相位型光瞳实现 |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 实验验证及结果分析 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 收集光倾斜下系统特性影响验证 |
| 5.2.1 轴向响应特性分析 |
| 5.2.2 径向响应特性分析 |
| 5.3 超分辨相位光瞳特性实验 |
| 5.3.1 相位光瞳的移焦与轴向超分辨特性测定 |
| 5.3.2 相位光瞳的径向超分辨测定 |
| 5.4 分瞳移焦型外差共焦显微系统实验验证 |
| 5.4.1 分瞳移焦型外差共焦轴向响应测定 |
| 5.4.2 分瞳移焦型外差共焦轴向分辨力测定 |
| 5.5 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
（2）瞳函数调制的超分辨望远成像机理研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 衍射极限及分辨率 |
| 1.2 典型超分辨成像技术 |
| 1.2.1 传统高分辨率成像 |
| 1.2.2 近场扫描超分辨成像 |
| 1.2.3 光瞳滤波超分辨成像 |
| 1.3 光瞳滤波超分辨技术国内外发展现状 |
| 1.3.1 国外发展现状 |
| 1.3.2 国内发展现状 |
| 1.4 论文结构 |
| 第2章 望远超分辨理论基础及光瞳滤波器设计方法 |
| 2.1 超分辨光瞳滤波器理论基础 |
| 2.1.1 圆对称标量衍射理论 |
| 2.1.2 焦点附近的光场分析 |
| 2.1.3 超分辨光瞳滤波器评价指标 |
| 2.2 位相型光瞳滤波器的设计 |
| 2.2.1 设计方法 |
| 2.2.2 设计结果 |
| 2.3 本章小结 |
| 第3章 望远超分辨光学系统的设计与仿真 |
| 3.1 望远超分辨成像系统分析 |
| 3.2 超分辨望远成像光学系统的设计 |
| 3.2.1 设计要求 |
| 3.2.2 设计结果 |
| 3.3 超分辨光学系统仿真 |
| 3.3.1 超分辨光学系统仿真方法 |
| 3.3.2 超分辨成像仿真 |
| 3.4 视场光阑对超分辨光场的影响分析及补偿方法 |
| 3.4.1 视场光阑对光瞳处光场的影响分析 |
| 3.4.2 视场光阑对像面光场的影响分析 |
| 3.4.3 光阑影响补偿原理与方法 |
| 3.5 望远超分辨成像系统公差分析 |
| 3.5.1 光瞳滤波器公差分析方法 |
| 3.5.2 具体元件的公差分析 |
| 3.6 多目标成像仿真 |
| 3.7 本章小结 |
| 第4章 具有视场光阑的超分辨成像实验研究 |
| 4.1 核心器件选型 |
| 4.2 超分辨成像实验 |
| 4.3 加入视场光阑后的超分辨效果及补偿实验设计 |
| 4.3.1 视场光阑对超分辨效果影响实验 |
| 4.3.2 加入补偿信息实验验证 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 |
| 致谢 |
（3）共焦显微系统中移焦探测方法研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 |
| 1.2.1 共焦系统超分辨技术研究现状 |
| 1.2.2 光瞳滤波器研究现状 |
| 1.3 本课题需要解决的问题 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 |
| 第2章 共焦显微系统移焦探测基本原理 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 共焦显微系统探测原理分析 |
| 2.2.1 共焦系统三维相干传递函数 |
| 2.2.2 理想平面镜共焦成像特性 |
| 2.2.3 软针孔等效硬针孔实现点探测的条件 |
| 2.3 光瞳滤波器相位调制特性分析 |
| 2.3.1 位相型光瞳滤波器超分辨特性 |
| 2.3.2 位相型光瞳滤波器移焦特性 |
| 2.3.3 基于移焦光瞳的外差共焦系统 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 有限尺度探测时移焦光瞳结构优化 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 有限尺度探测的共焦系统轴向特性分析 |
| 3.3 光瞳滤波器优化模型建立 |
| 3.3.1 光瞳优化约束条件分析 |
| 3.3.2 光瞳滤波器优化模型 |
| 3.4 光瞳滤波器优化算法 |
| 3.4.1 遗传算法优化流程 |
| 3.4.2 基于GA的移焦光瞳优化 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 基于SLM的位相型光瞳滤波器实现 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 SLM相位调制特性测定方法 |
| 4.3 基于菲涅耳透镜的SLM相位图对准方法 |
| 4.3.1 基于菲涅耳透镜的SLM相位图对准原理 |
| 4.3.2 SLM对准中物镜位置影响分析 |
| 4.3.3 SLM相位图偏移量与CCD采集图偏移量的关系 |
| 4.4 基于SLM的移焦光瞳实现方法 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 实验及结果分析 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 SLM相位调制特性测定实验 |
| 5.2.1 相位调制特性测定实验装置 |
| 5.2.2 相位调制特性测定实验 |
| 5.3 SLM对准方法验证实验 |
| 5.3.1 相位图偏移量与采集图偏移量关系验证实验 |
| 5.3.2 SLM对准实验 |
| 5.4 共焦显微系统移焦探测实验 |
| 5.4.1 相位光瞳移焦效果验证实验 |
| 5.4.2 系统轴向分辨力实验 |
| 5.4.3 系统横向分辨力实验 |
| 5.5 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 |
| 致谢 |
（4）基于光瞳滤波器的荧光辐射差分显微镜成像的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| abstract |
| 第1章 引言 |
| 1.1 课题背景 |
| 1.2 基于激光扫描共聚焦镜发展的超分辨成像技术研究 |
| 1.2.1 激光扫描共聚焦显微镜成像 |
| 1.2.2 基于激光扫描共聚焦显微镜的几种典型的超分辨成像技术 |
| 1.2.3 荧光辐射差分超分辨显微术的理论研究 |
| 1.3 课题的研究内容、目的和意义 |
| 第2章 环形光瞳提高荧光辐射差分显微成像术的分辨率 |
| 2.1 基于环形光瞳的荧光辐射差分成像简介 |
| 2.2 荧光辐射差分显微成像基本原理 |
| 2.3 环形光瞳对dFED分辨率的提高 |
| 2.3.1 环形光瞳的模型设计 |
| 2.3.2 模拟样品仿真 |
| 2.4 本章小结 |
| 第3章 漏光型光瞳用于方位角偏振的荧光辐射差分显微成像术研究 |
| 3.1 基于漏光瞳的方位角偏振光简介 |
| 3.2 基于方位角偏振光束的荧光辐射差分显微术 |
| 3.2.1 漏光型光瞳滤波器的设计 |
| 3.2.2 荧光辐射差分显微术中空焦斑的调制 |
| 3.3 样品仿真 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 基于激光扫描成像共聚焦系统的实验研究 |
| 4.1 激光扫描共聚焦成像系统平台简介 |
| 4.2 系统架构 |
| 4.2.1 成像系统装置示意图 |
| 4.2.2 系统的搭建和调节 |
| 4.3 系统模块设计 |
| 4.3.1 高功率连续光激光器照明系统 |
| 4.3.2 时间相关单光子计数采集卡 |
| 4.3.3 三维纳米平移台 |
| 4.3.4 成像扫描程序 |
| 4.4 实验结果分析与讨论 |
| 4.4.1 荧光小球溶液样品的制备 |
| 4.4.2 金颗粒的共聚焦成像实验 |
| 4.4.3 荧光小球的共聚焦成像实验 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 结论与展望 |
| 5.1 结论 |
| 5.2 进一步工作的方向 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间的研究成果 |
（5）自适应光学瞳面滤波超分辨成像技术及其对视功能的影响研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 衍射分辨率极限 |
| 1.2 典型光学超分辨成像技术 |
| 1.2.1 传统高分辨成像 |
| 1.2.2 近场超分辨成像 |
| 1.2.3 单微发光体超分辨成像 |
| 1.2.4 光瞳滤波超分辨成像 |
| 1.3 自适应光学技术及其在眼科学中的应用 |
| 1.3.1 自适应光学起源 |
| 1.3.2 自适应光学在眼科学中的应用 |
| 1.4 论文内容及结构 |
| 第二章 人眼光学结构及像差描述 |
| 2.1 人眼成像过程 |
| 2.2 人眼生理构造 |
| 2.3 人眼分辨率 |
| 2.4 人眼像差介绍 |
| 2.5 人眼像差数学描述 |
| 2.6 人眼像差特性 |
| 2.7 人眼像差测量 |
| 2.8 本章小结 |
| 第三章 超分辨光瞳滤波技术 |
| 3.1 光瞳滤波器介绍 |
| 3.2 光瞳滤波器分类 |
| 3.3 光瞳滤波器应用 |
| 3.4 超分辨光瞳滤波器性能评价参数 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 超分辨光瞳滤波器件 |
| 4.1 二元光瞳滤波器 |
| 4.2 液晶空间光调制器 |
| 4.3 变形反射镜光瞳滤波器 |
| 4.3.1 37 单元PZT变形镜 |
| 4.3.2 145单元变形镜 |
| 4.4 本章小结 |
| 第五章 相位型超分辨光瞳滤波器设计 |
| 5.1 多项式相位光瞳滤波器设计及仿真 |
| 5.2 Zernike多项式光瞳滤波器设计及仿真 |
| 5.3 本章小结 |
| 第六章 自适应超分辨光学系统光学质量评估 |
| 6.1 点扩散函数测试 |
| 6.1.1 实验系统 |
| 6.1.2 实验结果及分析 |
| 6.2 分辨率板测试 |
| 6.2.1 实验系统 |
| 6.2.2 实验结果及分析 |
| 6.3 本章小结 |
| 第七章 自适应超分辨光学系统视觉性能评估 |
| 7.1 人眼点扩散函数测试 |
| 7.1.1 超分辨光瞳滤波器设计 |
| 7.1.2 实验系统 |
| 7.1.3 实验结果及分析 |
| 7.2 人眼对比敏感度测试 |
| 7.2.1 心理物理学简介 |
| 7.2.2 对比敏感度函数介绍 |
| 7.2.3 对比敏感度测试方法 |
| 7.2.4 实验光学系统 |
| 7.2.5 实验结果及分析 |
| 7.3 本章小结 |
| 第八章 总结与展望 |
| 8.1 论文工作总结 |
| 8.2 论文创新点 |
| 8.3 后续工作展望 |
| 致谢 |
| 参考文献 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 |
（6）光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统研究（论文提纲范文）
| 致谢 |
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 1 绪论 |
| 1.1 精密、超精密表面形貌测量的意义 |
| 1.2 精密、超精密表面形貌测量的研究现状 |
| 1.2.1 触针表面轮廓测量仪 |
| 1.2.2 光学干涉表面形貌测量仪 |
| 1.2.3 光学共焦表面形貌测量仪 |
| 1.2.4 非光学显微镜 |
| 1.3 课题的提出及主要研究内容 |
| 1.3.1 课题的提出 |
| 1.3.2 本论文的主要研究内容 |
| 2 光线扫描精密表面干涉测量系统 |
| 2.1 测量系统基本原理 |
| 2.2 实际测量系统的分析 |
| 2.2.1 入射光平行度 |
| 2.2.2 入射角 |
| 2.2.3 入射光斑尺寸 |
| 2.3 准直缩束系统 |
| 2.3.1 光纤自准直透镜准直 |
| 2.3.2 透镜组准直 |
| 2.4 压缩光斑 |
| 2.4.1 不同压缩倍数的光路模拟 |
| 2.4.2 入射角和光栅的确定 |
| 2.4.3 实验结果 |
| 2.5 表面测量结果 |
| 2.5.1 系统光路 |
| 2.5.2 标定波长 |
| 2.5.3 测量结果 |
| 2.6 本章小结 |
| 3 反馈稳定系统 |
| 3.1 环境干扰对光学干涉仪的影响 |
| 3.2 稳定干涉仪的方法 |
| 3.2.1 算法 |
| 3.2.2 共路干涉仪 |
| 3.2.3 同步移相 |
| 3.2.4 自适应稳定技术 |
| 3.3 反馈稳定系统的设计与分析 |
| 3.3.1 反馈稳定原理 |
| 3.3.2 反馈电路原理 |
| 3.3.3 反馈回路分析 |
| 3.4 反馈稳定系统的实验结果 |
| 3.4.1 PZT的频率响应 |
| 3.4.2 反馈系统补偿效果 |
| 3.4.3 干涉测量系统的稳定实验 |
| 3.5 本章小结 |
| 4 超横向分辨率测量 |
| 4.1 光的衍射极限 |
| 4.2 突破衍射极限的方法 |
| 4.2.1 基于传统衍射理论的方法 |
| 4.2.2 光源照明超分辨技术 |
| 4.2.3 光瞳滤波超分辨技术 |
| 4.3 线扫描测量系统的横向分辨率 |
| 4.3.1 宽度方向横向分辨率的提高 |
| 4.3.1.1 理论分析 |
| 4.3.1.2 实验结果 |
| 4.3.1.3 改进空间 |
| 4.3.2 长度方向横向分辨率的提高 |
| 4.4 本章小结 |
| 5 光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统 |
| 5.1 测量系统原理 |
| 5.1.1 测量部分光路结构 |
| 5.1.2 反馈稳定部分光路结构 |
| 5.2 测量结果 |
| 5.2.1 标定波长 |
| 5.2.2 测量系统稳定性 |
| 5.2.3 重复测量精度 |
| 5.2.4 表面测量结果 |
| 5.3 测量分辨率和精度分析 |
| 5.3.1 测量分辨率和量程 |
| 5.3.2 测量精度分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 6 总结与展望 |
| 6.1 完成的主要工作 |
| 6.2 论文主要创新点 |
| 6.3 下一步工作展望 |
| 参考文献 |
| 作者简历及攻读硕士/博士学位期间取得的研究成果 |
| 学位论文数据集 |
（7）光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题的研究背景、目的和意义 |
| 1.2 国内外的研究现状及分析 |
| 1.2.1 同步移相干涉理论的发展 |
| 1.2.2 同步移相干涉技术的研究现状 |
| 1.2.3 移相干涉共焦技术的研究现状 |
| 1.3 本课题需要解决的问题 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 |
| 第2章 光栅分光式移相干涉差分共焦原理 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 光栅分光式同步移相干涉原理 |
| 2.2.1 正交相位光栅衍射特性分析 |
| 2.2.2 同步移相干涉理论分析 |
| 2.3 差分共焦显微技术理论分析 |
| 2.3.1 理想点物的共焦显微成像系统特征分析 |
| 2.3.2 理想平面镜的共焦显微成像系统特征分析 |
| 2.3.3 基于光瞳移焦效应的差分共焦原理分析 |
| 2.4 光栅分光式移相干涉差分共焦位移探测模型建立 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 分光系统与移相系统设计与分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 分光系统设计 |
| 3.2.1 正交相位光栅设计 |
| 3.2.2 光阑结构设计 |
| 3.3 移相误差分析与结构设计 |
| 3.3.1 移相误差分析 |
| 3.3.2 四象限移相器设计 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 离焦探测特性分析与分瞳式光瞳设计 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 有限针孔离焦探测分析 |
| 4.2.1 有限针孔共焦系统轴向响应特性分析 |
| 4.2.2 有限针孔差分共焦最佳离焦量分析 |
| 4.3 分瞳式相位光瞳结构设计 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 实验及结果分析 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 同步移相干涉位移测量实验 |
| 5.2.1 实验装置 |
| 5.2.2 同步移相干涉特性实验 |
| 5.2.3 同步移相干涉位移测量分辨力实验 |
| 5.2.4 同步移相干涉稳定性实验 |
| 5.2.5 同步移相干涉位移测量重复性实验 |
| 5.3 移相干涉差分共焦系统实验 |
| 5.3.1 移相干涉差分共焦系统移焦特性实验 |
| 5.3.2 差分共焦分辨力实验 |
| 5.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 |
| 致谢 |
（8）利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨（论文提纲范文）
| 1引言 |
| 2光瞳滤波器基本原理 |
| 3泽尼克位相型光瞳滤波器 |
| 4设计结果分析 |
| 5结论 |
（9）超分辨光学系统成像原理与技术（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 本论文的研究目的和意义 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 |
| 1.2.1 超分辨技术的概念 |
| 1.2.2 衍射超分辨的研究进展 |
| 1.2.3 超分辨光瞳滤波技术的国内外发展现状 |
| 1.3 章节安排 |
| 第2章 超分辨光瞳滤波器的设计与优化 |
| 2.1 设计方法一：Gerchberg-Saxton 算法 |
| 2.1.1 算法理论基础 |
| 2.1.2 设计结果及分析 |
| 2.2 设计方法二：Toraldo 方法 |
| 2.2.1 方法理论基础 |
| 2.2.2 理论推导验证 |
| 2.2.3 设计结果及分析 |
| 2.3 本章小结 |
| 第3章 超分辨光学系统的设计与仿真 |
| 3.1 基底光学系统设计 |
| 3.1.1 基底光学系统设计要求 |
| 3.1.2 基底光学系统设计结果 |
| 3.2 超分辨光学系统仿真 |
| 3.2.1 超分辨光学系统仿真分析方法 |
| 3.2.2 超分辨光学系统仿真结果 |
| 3.3 超分辨光学系统公差分析 |
| 3.3.1 光瞳滤波器的公差分析与计算 |
| 3.3.2 动态数据交换技术 |
| 3.3.3 具体系统的公差分析 |
| 3.4 大视场局部超分辨成像系统 |
| 3.4.1 机械扫描实现方案 |
| 3.4.2 光楔扫描实现方案 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 实验设计与分析 |
| 4.1 核心器件分析 |
| 4.2 实验设备选型 |
| 4.2.1 液晶空间光调制器 |
| 4.2.2 CCD 相机 |
| 4.2.3 激光光源 |
| 4.3 实验系统设计 |
| 4.3.1 基底光学系统设计 |
| 4.3.2 系统公差分析 |
| 4.3.3 机械设计结果 |
| 4.4 实验系统搭建 |
| 4.4.1 超分辨聚焦实验 |
| 4.4.2 分辨率板实验 |
| 4.5 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 |
| 致谢 |
（10）双折射光瞳滤波式差动共焦显微系统特性研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 |
| 1.2 光瞳滤波式共焦显微测量技术的国内外研究现状 |
| 1.3 双折射光瞳滤波技术的国内外研究现状 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 |
| 第2章 双折射光瞳滤波器的设计 |
| 2.1 引言 |
| 2.2 光瞳滤波器的超分辨性能分析 |
| 2.3 双折射光瞳滤波器的设计 |
| 2.3.1 双折射光瞳滤波原理 |
| 2.3.2 双折射光瞳滤波器的优化设计 |
| 2.4 双折射光瞳滤波器的制作 |
| 2.5 双折射滤波器的改进 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 双折射光瞳滤波式共焦显微成像系统的超分辨特性分析 |
| 3.1 引言 |
| 3.2 共焦显微成像理论及特性分析 |
| 3.3 双折射光瞳滤波式共焦系统的成像理论 |
| 3.4 双折射光瞳滤波式共焦系统的响应特性分析 |
| 3.4.1 系统横向分辨特性 |
| 3.4.2 系统轴向分辨特性 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 双折射光瞳滤波式三维差动共焦成像 |
| 4.1 引言 |
| 4.2 差动共焦的成像理论及特性分析 |
| 4.3 双折射光瞳滤波式差动共焦系统的响应特性研究 |
| 4.3.1 双折射光瞳滤波式差动共焦系统成像理论 |
| 4.3.2 系统轴向分辨特性 |
| 4.3.3 系统横向分辨特性 |
| 4.4 本章小结 |
| 第5章 实验系统与实验结果分析 |
| 5.1 引言 |
| 5.2 双折射光瞳滤波式共焦显微系统实验研究 |
| 5.2.1 双折射光瞳滤波式共焦显微实验系统组成 |
| 5.2.2 系统横向响应特性实验及分析 |
| 5.2.3 系统轴向响应特性实验及分析 |
| 5.3 双折射光瞳滤波式三维差动共焦显微测量系统实验研究 |
| 5.3.1 双折射光瞳滤波式三维差动共焦显微测量实验系统组成 |
| 5.3.2 系统横向响应特性实验及分析 |
| 5.3.3 系统轴向响应特性实验及分析 |
| 5.4 本章小结 |
| 结论 |
| 参考文献 |
| 附录 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 |
| 致谢 |
四、改善共焦系统轴向分辨率的位相型光瞳滤波器（论文参考文献）
- [1]分瞳移焦型外差共焦显微成像方法研究[D]. 孙传芳. 哈尔滨工业大学, 2021
- [2]瞳函数调制的超分辨望远成像机理研究[D]. 魏明. 长春理工大学, 2020(01)
- [3]共焦显微系统中移焦探测方法研究[D]. 郭雨晗. 哈尔滨工业大学, 2019(02)
- [4]基于光瞳滤波器的荧光辐射差分显微镜成像的研究[D]. 胡杰. 南昌大学, 2019(02)
- [5]自适应光学瞳面滤波超分辨成像技术及其对视功能的影响研究[D]. 赵丽娜. 电子科技大学, 2018(10)
- [6]光线扫描超分辨率精密表面干涉在线测量系统研究[D]. 马森. 北京交通大学, 2017(01)
- [7]光栅分光式移相干涉差分共焦位移传感技术研究[D]. 向小燕. 哈尔滨工业大学, 2016(02)
- [8]利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨[J]. 刘江,苗二龙,王学亮,隋永新,杨怀江. 光学学报, 2015(12)
- [9]超分辨光学系统成像原理与技术[D]. 查为懿. 北京理工大学, 2015(07)
- [10]双折射光瞳滤波式差动共焦显微系统特性研究[D]. 侯斯靓. 哈尔滨工业大学, 2012(05)