超大规模集成电路论文

膜混合集成电路MOS集成电路

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VLSI中低介电常数SiOF薄膜的研究

一、超大规模集成电路中低介电常数SiOF薄膜研究（论文文献综述）王雪松[1]（2021）在《基于苯环桥连基团的OSGlow-k薄膜机械性能的优化研究》文中提出随着集成电路先进制...