磁控溅射论文

TaN微波薄膜技术改进电阻元件

一、TaN微波薄膜技术改善电阻元件（论文文献综述）魏良栋[1]（2020）在《基于GaAsMMIC工艺的耦合式微波功率传感器的设计》文中研究说明近年来,微波技术已经发展成了一门...